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YSBZ6000真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。在磁控放電的研究中發(fā)現：在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí)，真空滅弧室內的真空度與電離的電荷量有非常準確的對應關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)間接關(guān)系。因此，開(kāi)發(fā)了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著(zhù)提高了真空滅弧室的真空度計量的準確性。